Das piezoresistive Drucksensorelement und eine geeignete Elektronik zur Signalverstärkung und
Temperaturkompensation sind auf einem Siliziumchip integriert. Der gemessene Druck wirkt von oben auf die aktive Seite der Siliziummembran.
Zwischen Rückseite und einem Glassockel wird ein Referenzvakuum eingeschlossen. Das Temperatursensorelement ist ein NTCWiderstand.
Durch ein geeignetes Beschichtungsverfahren sind Druck- und Temperatursensor gegen die im Saugrohr auftretenden Gase und Flüssigkeiten
beständig.